《科技》中芯臉腫 陸製DUV問題多 分析師稱晶片良率糟透了
2022/09/12 16:12
【時報-台北電】大陸的中芯國際被打臉了嗎？先前大陸的半導體巨頭中芯國際宣布在7奈米
製程有重大突破，甚至能量產，震撼國際，但有產業分析師透露，中芯國際內部人員自曝，
中芯使用大陸自產的DUV曝光機生產7奈米晶片，但因為陸製的DUV問題很多，導致產出的7奈
米晶片良率跟著不佳，沒有成本優勢還容易被投訴。
有公開資料顯示，目前半導體產業中，先進製程包括5奈米、3奈米晶片需使用極紫外光曝
光機（EUV），才有辦法量產；而7奈米以上，包括14、28奈米則是用深紫外光曝光機（DUV）
量產晶片；美國限制製造設備後，大陸企業先進製程的發展被迫按下暫停鍵，大陸的半導體
公司轉而掃購DUV，用DUV來製造7奈米以下的晶片，主要的賣家還是全球最大的光刻機生產公
司艾司摩爾（ASML）。
不過，今年7月，有消息人士透露，美國施壓荷蘭要求ASML限制DUV出口大陸。顯然，美國
不僅要壓制大陸的先進製程發展，還要打壓成熟製程，在要半導體領域全面封鎖大陸發展。
為了突破美國的封鎖線，大陸有公司積極自行研發半導體生產設備，但實際情況卻不甚樂
觀。Dylan Patel向半島電視台表示，若中芯半導體7奈米製程屬實，確實是一項突破，但利
用DUV製作7奈米晶片的話，會缺少一些功能，想要擴大生產規模還需要進一步改良；另外，
有中芯工程師透露，大陸現在自產的DUV問題很多，大陸尚不足以製造出功能良好的DUV曝光
機。
工研院產業科技國際策略發展所研究總監楊瑞臨（Ray Yang）也表示，中芯國際使用DUV製
造7奈米的晶片良率非常低，不具成本優勢；他還表示，由於華為被美國制裁而無法找外國代
工廠，大陸嚴重仰賴中芯生產晶片，但可能主要局限於「非商業性的特殊用途」。(新聞來源
：旺得富理財網 李澍)
